圖6金剛石切割4.采用超快激光對碳化硅晶圓隱切碳化硅晶圓隱切工藝采用了安揚公司皮秒脈沖激光配合聚焦物鏡，將激光脈沖聚焦在滾筒篩沙機(jī)碳化硅晶圓內(nèi)部。采用這種隱切方式對晶圓加工時，激光聚焦在的碳化硅晶圓內(nèi)部的高強(qiáng)度激光使碳化硅材料發(fā)生局部熔融，由于熔融狀態(tài)下的碳化硅密度較結(jié)晶時高，所以在碳化硅熔融區(qū)會留下一些小的真空孔隙。